SF6檢漏儀工作原理主要看器儀器采用是某種方式的傳感器進行檢測，SF6氣體檢漏儀傳感器類型分析如下：
| 各種SF6傳感器的性能比較 | ||||||||
| 傳感器類型 | 工作原理詳細描述 | 可檢測氣體種類 | 優點 | 缺點 | 適應場合 | 備注 | ||
| 高頻電離法 | 對稀薄氣體進行高頻電離時，電負性氣體分子可以吸附電子轉為大質量離子，其在電磁場中的速度遠比電子慢，因此氣體會表現出不同的電特性。 | 電負性氣體，主要為SF6和鹵代烴 | 檢測下限濃度，小于100ppb的SF6濃度也可以被檢測出來，不中毒 | 裝置復雜，工作穩定性不好，操作不算方便，每次使用前都需要標零，對多種其他氣體也敏感 | 用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器 | 高頻電離法應用廣泛 | ||
| 半導體法 | 高溫半導體吸附極性分子（含有鹵素的分子容易具有極性的極性）后特性發生變化 | 醇類，醛類，鹵代烴，主要為各類制冷劑和溶劑 | 價格低廉 | 對SF6完全不敏感（SF6不屬于鹵代烴，也不是極性分子，不會被吸附） | 不適合監測SF6 | 半導體法 | ||
| 激光光聲法 | 使用波長等于SF6氣體吸收峰的激光照射被測氣體，當被測氣體中含有SF6時，會吸收激光能量并發熱膨脹，產生聲波。 | SF6 | 檢測下限濃度，可達1?10ppb， | 裝置復雜，價格較昂貴，有一定誤報概率，檢測取樣多，響應速度慢 | 用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器 | 聲光法 | ||
| 超聲波法 | SF6氣體碳酸鹽濃度。當氣體中含有SF6時，平均分子量變大，其中聲速相應降低。 | SF6 | 工作較穩定，裝置簡單，價格低廉 | 分辨率低，檢測下限較高（通常在數十ppm以上），受溫濕度影響大，受其他氣體干擾大 | 可以做雙氣體（例如SF6和氮氣混合氣體）中SF6含量測量用 | 超聲波法 | ||
| 激光光譜法 | 利用SF6對10.6微米激光的強吸收，測得吸收池中氣體的SF6濃度 | SF6 | 0.01PPM | 價格昂貴，工作不穩定 | 被激光光聲法和紅外光譜法取代 | 激光法 | ||
| 紅外光譜法 | 提供測量通道和參考通道，分別加裝不同波長的濾光片，使之獲得不同波長的紅外光，測量通道內部波長位于SF6的吸收峰上，參考檢測通過兩個通道的紅外光，并做對比，比值即表征了被測氣體中的SF6濃度。 | 各種具有紅外吸收峰的氣體，只針對SF6氣體有作用 | 完全真實的SF6濃度值，裝置較簡單，體積小，精度高，工作穩定，壽命長，漂移小，不中毒 | 檢測下限高于ECD法，高頻電離法和激光光聲法。每年需要對傳感器進行標定，價格適中 | 在線監測和手持式定量檢漏儀 | 紅外光譜法精度高，性能穩定，目前廣泛應用 | ||
| 高壓擊穿法 | SF6具有很強的滅弧性能。使用高電壓擊穿氣體，當氣體中含有SF6時，電弧電流和持續時間都有所變化。檢測這種變化，可以探測出SF6氣體濃度。 | 各種具有滅弧性能的氣體 | 裝置簡單小巧，也一體靈敏 | 本身短。不適合做定量檢測 | 適合做手持的定性式檢測儀器 | |||
| 電子逮捕獲法（ECD法） | 負離子進入電場，因質量不同，電場下速度不同，在窄脈沖電場下不同質量的電負性氣體分子產生不同的電流峰。 | 各種電負性氣體 | 對SF6的檢測下限極低，可達PPT等級 | 昂貴。線性范圍小，SF6濃度稍大即飽和，且有長期拖尾（類似中毒）。 | 用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器 | 傳感器容易中毒 | ||
| 負離子捕獲法 | 利用帶電的吸嘴（電極）吸氣，氣體中的SF6由于有強烈的電負性，經過吸嘴時會被吸附帶電，產生電流。 | 各種電負性氣體 | 裝置較簡單，操作方便 | 裝置通常需要配氣泵，檢測下限在零點幾ppm級，遠不如激光光聲，電子俘獲等方法，壽命短，反應慢 | 用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器，正在被其他方法取代 | |||
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